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高性能X射线荧光镀层厚度测量仪「SFT9500X系列」发售

2011.12.19

高精度测量极微小部位的金属薄膜厚度

    精工电子纳米科技有限公司（简称：SIINT，社长：川崎贤司，总公司：千叶县千叶市）是精工电子有限公司（简称：SII，社长：新保雅文，总公司：千叶县千叶市）的全资子公司，其主要业务是测量分析仪器的生产与销售。本公司于12月19日开始销售可高精度测量电镀・蒸镀等极微小部位的纳米级别的镀层厚度测量仪「SFT9500X系列」。出货时间预定为2012年2月上旬。

高性能X射线荧光镀层厚度测量仪　「SFT9550X」

要对半导体、电子部件、印刷电路板中所使用的电镀・蒸镀等金属薄膜的膜厚・组成进行测量管理，就必须确保功能、品质及成本。特别是近年来随着电子仪器的高功能化、小型化的发展，连接器和导线架等电子部件也逐渐微细化了。与此同时，电镀・蒸镀等金属薄膜厚度的测量也要求达到几十微米的极微小部位测量以及达到纳米等级的精度。

「SFT9500X系列」通过新型X射线聚光系统（毛细管）和X射线源的组合，可达到照射直径30μmφ的高能量X射线束照射。以往的X射线荧光膜厚仪由于照射强度不足而无法获得足够的精度，而「SFT9500X系列」则可以对导线架、连接器、柔性线路板等的极微小部位进行准确、迅速的测量。

SIINT于1978年在世界上率先推出了台式X射线膜厚仪，而后在日本国内及世界各地进行广泛销售，得到了顾客很高的评价。此次推出的「SFT9500X系列」是一款凝聚了长期积累起来的X射线微小部位测量技术的高性能X射线荧光膜厚仪。今后将在电子零部件、金属材料、镀层加工等领域进行销售，对电子仪器的性能・品质的提高作出贡献。

【SFT9500X系列的主要特征】
1. 极微小部位的薄膜・多层膜测量
通过采用新型的毛细管（X射线聚光系统）和X射线源，把与以往机型（SFT9500）同等强度的X射线聚集在30μmφ的极微小范围。因此，不会改变测量精度即可测量几十微米等级的微小范围。同时，也可对几十纳米等级的Au/Pd/Ni/Cu多镀层的各层膜厚进行高精度测量。

2.扫描测量
通过微小光束对样品进行XY扫描，可把样品的镀层厚度分布和特定元素的含量分布输出为二维扫描图像数据，更方便进行简单快速的观察。

3. 异物分析
通过高能量微小光束和高计数率检测器的组合，可进行微小异物的定性分析。利用CCD摄像头选定样品的异物部分并照射X射线，通过与正常部分的能谱差进行异物的定性分析（Al～U）。

【SFT9500X系列的主要产品规格】

	SFT9500X	SFT9550X
样品台尺寸（宽）×（长）	175×240 mm	330×420 mm
样品台移动量（X）×（Y）×（Z）	150×220×150 mm	300×400×50 mm
被测样品尺寸（最大）（宽）×（长）×（厚度）	500×400×145 mm	820×630×45 mm
X 射线源	空冷式小型X射线管（最大50kV，1mA）
检测器	Vortex半导体检测器（无需液氮）
照射直径	最小30μmφ
样口观察	CCD摄像头（附变焦功能）
样品对焦	激光点
滤波器	Au极薄膜测量用滤波器
操作部	电脑、19英寸液晶显示器
测量软件	薄膜FP法、薄膜検量線法
选配	能谱匹配软件、红色显示灯、打印机
测量功能	自动测量、中心搜索
数据处理	Microsoft® Excel、Microsoft® Word（配备统计处理；测量数据、平均值、最大・最小值、CV值、Cpk值等测量结果报告制作（包含样品图像））
安全功能	样品室门安全锁、仪器诊断功能

【价格】　1,650万日元～（不含税）

【出货开始时间】　2012年2月上旬

【销售目标台数】　50台（2012年度）

　　　Microsoft是美国　Microsoft　Corporation在美国及其它国家的登记商标或者商标。

以上

本产品的咨询方式
中国：
精工盈司电子科技(上海)有限公司
TEL：021-50273533
FAX：021-50273733
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分析营业部营业三科
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周锦帆