【求助】测定的样品为金属薄膜

具体问题是：目前测定的样品为金属薄膜，厚度为50um左右，尺寸为100um。
对样品表面的场发射扫描电镜观察发现，表面有规则排布的突起结构，尺寸大约为50nm，呈锥状造型。
现在想知道这些锥状突起结构的物相是什么？因其尺寸过小，分布位置仅在最表面，
所以在此诚心向各位高手请教，能采用什么手段仅表征最表面突起结构的物相组成》？
已采用TEM测试过，样品采用离子减薄至穿孔，仅对穿孔周围区域进行了TEM观察，但是感觉测定的位置还不一定是最表面，哪位高手能提供TEM表面制样的好方法也可以，先谢谢了！！具体问题是：目前测定的样品为金属薄膜，厚度为50um左右，尺寸为100um。
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