光电所微透镜列阵制备技术获得新突破

2011-5-19 10:33 来源: 中国科学院
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  中科院光电技术研究所第四研究室微光学研究小组以国家工程项目需求为牵引,通过发展新工艺,在基于曲面载体的微透镜阵列研制方面取得新的突破,在国内首次实现了基于曲面载体的微光学结构制备。微结构子口径可以从几微米拓展到毫米级,子孔径形貌可以是四边形、六边形以及各种不规则形状,填充因子根据需要可以达到100%。

  在研究组前期发展的移动掩模技术、移动掩模滤波技术等平面微光学元件制备方法基础上,课题组发展了适用于曲面载体的微光学元件成形技术:子孔径40μm的人工复眼结构中约有20000个微透镜阵列,他们被准确的集成于球冠表面,球冠口径为25 mm,高度为8mm。

  人工复眼结构利用微透镜对各个空间方位进行监视,可以在大视场范围内实现对目标的快速定位和观测。曲面载体微光学元件制备技术的突破使得人工复眼结构及曲面载体微元件的制备和应用成为了可能,在生物医学、精密测量与成像领域将具有重要的应用价值。

  

  图1 周期5um微透镜列阵结构

  

  图2 人工复眼结构SEM图片