芯源公司“集束型匀胶显影设备”获辽宁优秀新产品二等奖

2010-11-04 17:31 来源: 中国科学院
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芯源公司“集束型匀胶显影设备”获辽宁省优秀新产品二等奖

  近日,经第八届辽宁省优秀新产品奖评审委员会审查,省政府批准,中科院沈阳自动化研究所持股公司芯源公司申报的“集束型匀胶显影设备”被授予辽宁省优秀新产品二等奖。在本届辽宁省新产品评选中,共有31项产品获得一等奖,二等奖59项。评选省级优秀新产品奖旨在鼓励和支持企业研制开发技术含量高、附加值高的新产品,掌握具有自主知识产权的新技术,推进企业技术进步,加速全省产品结构优化和产业升级。

  沈阳自动化所持股公司—芯源公司的主导产品匀胶显影设备是集成电路制造关键设备之一,其作用是在晶圆上涂敷光刻胶,与光刻机配合,曝光后显影,保证掩膜版图形的正确转印。在芯源公司创建之前,国内的匀胶显影设备处于6英寸0.5微米技术等级。芯源公司通过引进消化与集成创新,拥有了完全自主知识产权的整机技术,研制的8英寸匀胶显影设备可满足0.25,0.18,0.13微米集成电路制造工艺,填补了国内空白,整机技术水平达到国际先进。

  2005年,芯源公司成为国内首家将国产设备推入集成电路8英寸主流生产线,摆脱了我国集成电路制造设备依赖进口的状况。2007年公司研制的 12英寸先进封装涂胶设备,取得国产集成电路装备在晶圆尺寸和新工艺应用上的重大突破。几年来,企业和产品在同行业形成了品牌影响。目前,适应更高技术等级的12英寸匀胶、显影、刻蚀设备,作为国家科技02专项攻关产品已完成样机研发,进入大线考核验证,其中匀胶、显影设备已进入应用采购。

  芯源公司产品是辽沈地区发展IC装备产业链的整机设备代表,对带动本地区相关产品的技术提升与发展,促进本地区IC装备及零部件产业的建立与发展,改造传统产业结构将起到积极的推动作用。