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什么叫正胶显影和负胶显影

2021.7.15

正胶显影:正性光刻胶的曝光区的光刻胶在显影液中溶解,在光刻胶上形成三维图形。

负胶显影:在负性光刻胶的非曝光区的光刻胶在显影液中溶解,在光刻胶上形成三维图形。

正胶具有很好的对比度,所以生成的图形具有良好的分辨率,其他特性如,台阶覆盖好、对比度好;粘附性差、抗刻蚀能力差、高成本。

负胶的特性为,具有良好的粘附能力和阻挡作用、感光速度快;显影时发生变形和膨胀,所以只能用于2μm的分辨率。


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