点击上方「材料科学与工程」快速关注材料类综合、全面、专业的微信平台 PACVD是等离子体辅助化学气相沉积的缩写,下面的视频为大家展示的是欧瑞康巴尔查斯涂层公司用高频PACVD工艺生产无金属碳涂层的过程,这种方式工艺类似溅射,但是溅射出金属附膜后,加上了高频交流电压。过程大致是这样的:首先加入含涂层元素的气体后,然后在处理室中发生气体放电,所生成的碳和氢原子最后在工具或元件上形成紧密的涂层。...
航空发动机热障涂层服役环境苛刻包括高温氧化、冷热循环以及熔盐腐蚀等,现有热障涂层制备技术包括大气等离子喷涂(APS)、电子束-物理气相沉积(EB-PVD)等已不能满足下一代发动机设计要求,因此急需开展新一代等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)技术(图1)。PS-PVD热障涂层具有沉积效率高、应力容限好等优点,可实现涂层非视线沉积,是未来航空发动机热障涂层重点发展方向。...
(二)离子注入 高电压下将不同离子注入工件表面令其表面改性的过程,称为离子注入,如注硼等。 (三)化学气相沉积(CVD) 低压(有时也在常压)下,气态物质在工件表面因化学反应而生成固态沉积层的过程,称为化学气相镀,如气相沉积氧化硅、氮化硅等。五、其它方法主要是机械的、化学的、电化学的、物理的方法。其中的主要方法是。...
根据电子发射机制不同,电子枪可分为热阴极型(由难熔金属制成的灯丝发射热电子)和空心阴极型(由惰性气体电离形成的等离子体引出电子)两大类。电弧加热蒸发是通过两种导电材料制成的电极之间形成电弧,产生足够高的温度使电极材料蒸发沉积成薄膜。这种方式与电子束加热方式十分相似,但使用设备远比电子束加热装置简单,如图3所示,因为成本较低,可沉积高熔点难熔金属及其化合物薄膜、碳材料薄膜。...
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