以三元TiAlN为代表的TiN基刀具防护涂层,由于具有硬度高、抗氧化好、高温时效硬化等优点,一直是国内外刀具涂层的主流产品。但是,该类涂层在切削时,由于摩擦系数较大,导致切削力大、切削温度高,工件表面光洁度差,不利于难加工材料(如钛、镍合金等)的切削加工或是普通材料的干式切削。...
采用离子束辅助沉积方法制备不同调制比和调制周期的TiN/Ta多层膜和TiAlN/Ta多层膜,优化多层膜结构;开发适用于氮化物/钽多层膜工业化制备的多弧离子镀和磁控溅射复合镀膜设备及其工艺装备;通过车削和物理化学性能研究,优化硬质合金刀具TiAlN/Ta多层膜制备工艺;通过工业化批量制备的涂层刀具的工厂车削加工实验,确认TiAlN/Ta多层膜提高车削加工性能和刀具使用寿命的效果。...
对于氮化物而言,几乎所有过渡族金属与氮原子组成的化合物都形成简单结构,W族和v族元素氮化物具商B1N ncI结构(TEN、ZrN、HfN和VN)或者具有六方结构(NLN和TaN)。过渡族金属[Ti、Cr、Zr和IIf)的氮化物涂层研究得最充分,应用也最为广泛,其应用领域从机械加工的刀具、模具的耐磨防护涂层、裴饰用涂层(由于这些氮化物是金黄色,故称仿余镀)到集成电路的扩散阻挡层等。...
目的:本研究采用磁控溅射法在纯钛表面分别构建两种氮化物单层涂层(ZrSiN涂层和Si3N4涂层)和两类梯度涂层(ZrSiN和Si/Si3N4/ZrSiN梯度涂层)以控制钛表面在烤瓷烧结高温条件下过度氧化,缩小钛/瓷之间热膨胀系数的不匹配、“缓冲”热应力。...
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