SJ 3247-1989
同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法已作废

Methods of measurement for extended-layer thickness of same-type Gallium arsenide by infra-red interference

标准号

SJ 3247-1989

发布日期

1989年03月20日

实施日期

1989年03月25日

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了与衬底同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测量原理，仪器设备，样品制备测量步骤，结果计算和精度。 本标准适用于与衬底同型砷化镓外延层厚度的测量，衬底和外延层室温电阻率应分别小于0.02Ω cm和大于0.1ΩZ·cm，可测厚度大于2μm。

SJ 3247-1989 中可能用到的仪器设备