EN 62047-20:2014
半导体设备 微机电设备 第20部分：陀螺仪

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 20: Gyroscopes

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标准号

EN 62047-20:2014

发布

2014年

发布单位

欧洲电工标准化委员会

当前最新

EN 62047-20:2014

 

 

适用范围

IEC 62047-20:2014 规定了陀螺仪的术语和定义、额定值和特性以及测量方法。 陀螺仪主要用于消费、一般工业和航空航天应用。 MEMS和半导体激光器广泛应用于陀螺仪的器件技术。

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