深圳威士达真空系统工程有限公司 氦质谱真空检漏常用的基本方法是喷吹法和氦罩法, 如图1 和图2 所示。 ...
本文分析了氦质谱检漏的影响因素,从建立数学模型角度分析漏率测量的不确定度,并给出采用氦罩法进行真空泄漏检测时的漏率不确定度范围,为用该方法评价氦质谱检漏结果提供思路,探讨采用该方法提供漏率结果不确定度的合理性和可行性。 ...
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。...
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。...
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