本标准规定了图形发生器的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于3600F型图形发生器,其它型号图形发生器(如3600型,EM250型等)可参照本标准并结合该设备的具体指标检查、评定。
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SJ/T 31080-1994 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备,在国际标准分类中归属于: 31-550 电子产品生产设备。
SJ/T 31080-1994 图形发生器完好要求和检查评定方法 于 2016-01-15 变更为 SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法。
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