SJ 20744-1999
半导体材料杂质含量红外吸收光谱分析通用导则

General rule of infrared absorption spectral analysis for the impurity concentration in semiconductor materials

标准号

SJ 20744-1999

发布日期

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

H80

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了半导体材料中杂质含量的红外吸收分析方法的术语、基本原理、仪器设备、样品制备、测量条件、测量步骤和测量结果的计算。 本标准适用于在红外光谱区为透明的并在该区域产生杂质吸收带的任何半导体单晶材料红外分析方法。

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