SJ/T 31126-1994
YL-1型MOCVD设备完好要求和检查评定方法已作废

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for YL-1 MOCVD systems

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标准号

SJ/T 31126-1994

发布日期

实施日期

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31-550

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了金属有机化合物化学汽相淀积设备(简称MOCVD设备)的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于YL-I型MOCVD设备。

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