SJ/T 10312-1992
电子束曝光机通用技术条件

General specification of electron beam exposure system

标准号

SJ/T 10312-1992

发布日期

1992年06月15日

实施日期

1992年12月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L99

国际标准分类号

31-550

发布单位

行业标准-电子

适用范围

本标准规定了电子束曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。 本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。

SJ/T 10312-1992 中可能用到的仪器设备