SJ/Z 2927-1988
集成电路制版设备名词术语

Terminology for mask-making equipment for integrated circuits manufacturing

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SJ/Z 2927-1988

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标准号: SJ/Z 2927-1988
发布: 1988年
发布单位: 行业标准-电子
当前最新: SJ/Z 2927-1988

本指导性技术文件规定的名词术语适用于集成电路光学制版主要设备的研制、使用、测试及验收。

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