SJ 2796-1987
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SJ 2796-1987

标准号
SJ 2796-1987
发布日期
1987年05月18日
实施日期
1988年10月01日
废止日期
2010-02-25
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31-030
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准适用于半导体分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧。按其使用要求电子级氧分为两级，代号为： 电子Ⅱ级氧代号为：DZO|(2)-Ⅱ； 电子l级氧代号为：DZO|(2)-I。

SJ 2796-1987 中可能用到的仪器设备

干燥失重法(红外线/卤素)水分仪 辐射仪/射线检测仪


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