SJ/T 31460-1994
电渗析设备完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for electro-penetration equipment
SJT31460-1994, SJ31460-1994
- 标准号
- SJ/T 31460-1994
- 别名
- SJT31460-1994
SJ31460-1994 - 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31460-1994
- 本标准规定了电子工业元器件生产中电子级水制造用电渗析设备完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于电子元器件，集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的电渗析设备。