SJ/T 10457-1993
俄歇电子能谱术深度剖析标准导则

Standard guide for depth profiling auger electron spectroscopy

标准号

SJ/T 10457-1993

发布日期

1993年12月17日

实施日期

1994年06月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L00

国际标准分类号

31.020

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准导则适用于采用磨角与截面法、球抗法、离子测射法、非破坏性深度剖析法进行俄歇电子能谱术尝试剖析。 本标准导则可能涉及有害的物品、操作及设备。但没有说明所有相关的安全问题。使用者在使用本导则前，应该制定适当的安全与保健措施，并确定本导则的范围。

SJ/T 10457-1993 中可能用到的仪器设备