GB/T 42271-2022
半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法
Test method for resistivity of semi-insulating monocrystalline silicon carbide by contactless measurement
GBT42271-2022, GB42271-2022
- 标准号
- GB/T 42271-2022
- 别名
- GBT42271-2022, GB42271-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 42271-2022
- 引用标准
- GB/T 14264 GB/T 30656
- 适用范围
- 本文件描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法。 本文件适用于测量电阻率范围为1×105 Ω·cm~1×1012 Ω·cm 的半绝缘碳化硅单晶片。
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