T/NXCL 30-2024
300 mm低氧含量直拉硅单晶
300 mm low oxygen content single crystaline Czochralski silicon
- 标准号
- T/NXCL 30-2024
- 发布
- 2024年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/NXCL 30-2024
- 适用范围
- 本文件规定了300 mm低氧含量直拉硅单晶的技术要求、试验方法、检验规格以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和质量承诺等方面的内容。 本文件适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为300 mm 的低氧含量硅单晶。产品主要用于绝缘栅双极晶体管（IGBT）等功率器件的衬底。
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