该设备电容真空计和全量程真空计读数偏差不大, 两个真空计同时出现故障的概率很小。因此首先考虑设备漏。用He 检漏仪进行检漏, 发现测膜厚晶振连接头漏率达4 × 10- 9 Pa.m3/ s, 延长喷He 时间, 漏率达1 × 10- 8 Pa.m3/ s。接着停了冷泵,检测了粗抽阀、放气阀、主气阀。然后让冷泵开始再生程序升温到室温, 再停止再生。...
在使用热偶真空计时，要注意它的测试特性，它所测量的真空度是包括水、油蒸气在内的气体全压强，读数与气体种类有关。而对真空泵鉴定时规定用压缩式真空计测量气体的分压强，它测量数值与气体种类无关。若该泵没有记下原始数据，则可以大致认为低于50格即应加以修理。自然，真空泵是否需修主要决定于生产实际的需要和可能条件。...
(4)、真空检漏仪一检测真空系统或元件漏孔的位置或漏率的仪器。包括高频火花检漏仪、卤素检漏仪和氦质谱检漏仪等。(5)、真空阀门一在真空系统中，用于调节流量、切断或接通管路的元件。包括插板阀、挡板阀、蝶阀、电磁阀、电磁带放气阀、压差阀、球阀、隔膜阀和调节阀等...
3.4真空测量采用数显真空计及配套规管，该真空计可以实现测量过程中的量程自动转换和超程保护，并具有数据输出、故障报警等多种功能。4.高温真空气氛炉充放气系统：4.1包括各个充气阀门（自动、手动）、管路附件等，并且充气压力可调，可实现快充及分压调节。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号