T/WLJC 58—2019
晶片精密研磨盘用修正轮
Dressing wheel for wafers precision grinding disc
说明：
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- 适用范围
- 标准名称中的“研磨盘”是指晶片双面研磨机的上、下研磨盘。 修正轮的材质为灰铸铁或球墨铸铁，用于铸铁研磨盘的修整。外形为齿轮状，厚度25-40毫米，正反面开有刮研槽。 标准给出了修正轮常用的6种结构型式，以及6种规格的外径和厚度尺寸、外圈的齿数和模数。 标准中对修正轮三项关键指标规定的尺寸公差，代表了国内一流、国际先进技术水平。 1）修正轮整个工作面的平面度，本标准规定应≤0.02 mm； 2）修正轮正反两面的平行度，本标准规定应≤0.005 mm； 3）修正轮4个或6个为一组，组内各修正轮之间的厚度误差，本标准规定应≤0.02 mm。