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按时进行光刻机水冷机组的维修保养,而对于很多企业而言,如果光刻机水冷机组缺少必要的保养与维护,意味着光刻机水冷机组后期运行故障率非常高。 在实际运行光刻机水冷机组的时候,为保持光刻机水冷机组运行靠谱与稳定,建议在使用半年时间之后,需要针对光刻机水冷机组进行面面的清洗。...
(1)风冷式机组的初投资要比水冷式机组的初投资低但单位制冷耗电量要略高于水冷机组,但风冷机组的年度综合费用与水冷机组基本持平或稍低。 (2)从运行上看,只有在机组年运行时间非常长的情况下,水冷机组才有可能在以后慢慢收回高出的那部分投资。 (3)水冷机组冷却水补水量的多少是影响其费用的重要因素。加强维护管理,减少水消耗量是降低水冷机组费用的重要方面。 ...
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