洁净室和相关受控环境 - 第 13 部分:表面清洁以达到颗粒物和化学分类的清洁度水平, 您可以免费下载预览页
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按化学物浓度对表面清洁度进行分类 2013 根据化学化合物或元素的存在情况定义洁净室表面洁净度的分类系统 ISO14644-12 通过纳米级颗粒浓度监测空气洁净度的指南 2018 根据悬浮纳米级颗粒物浓度的空气洁净度的监测 ISO14644-13 对表面进行清洁以便达到规定的颗粒物和化学物洁净度 2017 用清洁剂处理洁净室表面、洁净室设备表面和洁净室中材料表面的特定清洁程度...
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