本文件规定了使用基于白光轴向色散特性的共聚焦色差探针测量表面结构的非接触式仪器的设计与计量特性。
GB/T 33523.602-2022由国家质检总局 CN-GB 发布于 2022-12-30,并于 2023-04-01 实施。
GB/T 33523.602-2022 在中国标准分类中归属于: J04 基础标准与通用方法,在国际标准分类中归属于: 17.040.20 表面特征。
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