ASTM E2387-19
测角光散射测量的标准实施规程

Standard Practice for Goniometric Optical Scatter Measurements

标准号

ASTM E2387-19

发布

2019年

发布单位

美国材料与试验协会

当前最新

ASTM E2387-19

 

 

引用标准

ASTM E1331 ASTM E284 ASTM E308 ISO 13696

适用范围

1.1 本实践描述了确定表面光散射量和角分布的程序。它特别关注双向散射分布函数（BSDF）的测量。 BSDF 是一种方便且被广泛接受的表达光学散射水平的方法，可用于多种用途。当考虑反射散射时，它通常被称为双向反射分布函数 (BRDF)；当考虑透射散射时，它通常被称为双向透射分布函数 (BTDF)。
1.2 BSDF 是对样品外观的基本描述，许多其他外观属性（例如光泽度、雾度和颜色）可以用 BSDF 在特定几何和光谱条件下的积分来表示。
1.3 本实践还提出了呈现角度分辨光散射结果的替代方法，包括定向反射系数、定向透射系数和微分散射函数。
1.4 本实践适用于不透明、半透明或透明样品的 BSDF 测量。
1.5 本实践适用的波长包括紫外线、可见光和红外线区域。获得合适的光源、探测器和低散射光学器件的难度使其在波长小于约 0.2 µm (200 nm) 的实际应用变得复杂。对于大于 15 µm (15 000 nm) 的波长，衍射效应开始变得重要，这使其在较长波长下的实际应用变得复杂。与视觉外观相关的测量仅限于可见波长区域。
1.6 这种做法不适用于表现出明显荧光的材料。
1.7 本实践适用于任意形状的平面或弯曲样品。然而，讨论和示例中仅讨论了平面样本。用户有责任定义适当的样品坐标系，以指定样品表面上的测量位置以及不平坦样品的适当光束属性。
1.8 这种做法不提供将测量的 BSDF 归因于任何散射机制或源的方法。
1.9 本实践不提供将数据从一个波长、散射几何结构、样本位置或偏振外推到任何其他波长、散射几何结构、样本位置或偏振的方法。用户必须对其应用感兴趣的波长、散射几何形状、样本位置和偏振进行测量。
1.10 测量序列中的任何参数都可以改变。在测量序列期间保持恒定的参数被报告为表格数据集中或相关文档中的标题信息。
1.11 仪器和测量程序是通用的，因此在本实践的使用中既不排除也不暗示特定的仪器。
1.12 对于半导体行业进行的测量，操作员应查阅指南 SEMI ME 1392。
1.13 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任建立适当的安全、健康和环境实践，并在使用前确定监管限制的适用性。
1.14 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒（TBT）委员会发布的《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。

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