T/CCGA 30004—2019
电子级八氟环丁烷

Electronic grade perfluorocyclobutane

T/CCGA 30004—2019 发布历史

本标准规定了电子级八氟环丁烷产品的分类和型号，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于工业八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷产品。该产品是电子行业蚀刻气体。

T/CCGA 30004—2019由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2019-10-29，并于 2019-11-13 实施。

T/CCGA 30004—2019在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。

标准号

T/CCGA 30004—2019

发布日期

2019年10月29日

实施日期

2019年11月13日

废止日期

无

中国标准分类号

C266

国际标准分类号

71.100.20

发布单位

中国团体标准

适用范围

本标准规定了电子级八氟环丁烷产品的分类和型号，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于工业八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷产品。该产品是电子行业蚀刻气体。