GB/T 38976-2020
硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
GBT38976-2020, GB38976-2020
GB/T 38976-2020 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- GB/T 38976-2020
- 别名
- GBT38976-2020
GB38976-2020 - 发布
- 2020年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 38976-2020
- 引用标准
- GB/T 14264 GB/T 1557
- 本标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。 本标准适用于不同导电类型、不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试，测试范围为2.5×1 510 cm-3（0.05ppma）～2.5×1018cm-3（50ppma）。 注 ：硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子数计。
GB/T 38976-2020相似标准
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