GB/T 21287-2021
电子特气 三氟化氮
Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
GBT21287-2021, GB21287-2021
- 标准号
- GB/T 21287-2021
- 别名
- GBT21287-2021, GB21287-2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 21287-2021
- 引用标准
- GB 190 GB/T 3723 GB/T 5099 (所有部分) GB/T 5832.3 GB/T 601 GB/T 603
- 被代替标准
- GB/T 21287-2007
- 适用范围
- 本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。 本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯,或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。