ASTM F26-87a(1999)
ASTM F26-87a(1999)
- 标准号
- ASTM F26-87a(1999)
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F26-87a(1999)
- 引用标准
- ASTM E177 ASTM E82
- 适用范围
- 1.1 这些测试方法 2 涵盖了用于确定主要用于半导体器件的单晶中大致平行于低指数原子平面的表面晶体取向的技术。
1.2 包括以下两种类型的测试方法：
1.2.1 测试方法 A，X 射线衍射取向——该测试方法可用于所有半导体单晶的取向。
1.2.2 测试方法 B，光学取向——该测试方法目前仅限于元素半导体的应用。
1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。具体危险说明见第 6 节。