这些新型的结构,特别是复杂的多级次表面结构对微加工技术在成本、工艺、批量生产、精准设计和可控加工等方面提出了许多新的挑战,目前的常规微纳加工方法已经难以满足复杂结构的加工需要。近十多年来,新型微加工方法的研究获得长足进展,各种巧妙的方法不断涌现,如:纳米球光刻、晶界光刻、嵌段共聚物微相分离法、矿物沉积仿生微结构、应力应变微结构等。...
他们发明了一种基于聚焦离子束的应变诱导三维纳米结构加工新方法,即利用离子束辐照产生的注入效应以及由入射粒子能量转换与传递产生的温度效应,在纳米材料中产生局域化表面再构、缺陷、晶体结构变化,实现了三维空间诱导的纳米材料形变,以此构建三维功能纳米结构与器件。这种基于聚焦离子束的应变加工方法可兼有高精度、多维度、跨尺度、可设计以及可控等特点。...
飞秒激光直写技术的快速发展极大地促进了功能金属微纳器件的制备和应用研究。 该篇论文从制造方法上详细介绍和总结了双光子诱导金属离子还原、飞秒激光预制模板结合金属填充/表面包覆复合技术、光动力金属纳米粒子自组装以及激光诱导金属纳米粒子烧结等四种典型加工手段,并分析了各种方法的优缺点。...
目前表面功能微纳结构及器件,诸如超材料、超表面等充满“神奇”力量的结构或器件,的发展仍受到微纳加工技术的限制。因此,研究功能微纳结构及器件需要从微纳结构的加工技术方面进行广泛深入的研究,提高微纳加工技术的加工能力和效率是未来微纳结构及器件研究的重点方向。...
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