光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统等；电子测量仪器 频率测量仪器，电压测量仪器，示波器，器件参数测量仪器，元件参数测量仪器，脉冲测量仪器，扫描、频谱波形分析仪器，微波测量仪器，通信测量仪器，超低频测量仪器，声学测量仪器，干扰场强测量仪等电工仪器仪表和工具万用表...
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