该文从微波毫米波器件及功率模块、集成真空电子器件、太赫兹、大功率和高功率5个方面介绍了真空电子器件新的发展趋势以及所取得的最新研究成果。...
真空电子器件主要发展趋势可以概括为以下几点:(1)微波毫米波中小功率行波管器件将不断向微型化、集成阵列化、模块化方向发展,以适应无人机平台雷达以及有源相控阵雷达的发展需求;(2)MEMS微细加工工艺的全面引入将使得真空电子器件完全改变传统的加工制造工艺,使得器件工作频率进入到太赫兹频段,现有器件最高已经达到1 THz,可以为太赫兹雷达提供大功率辐射源;(3)大功率真空电子器件性能进一步提升,...
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