ASTM F1228-89(1994)e1
ASTM F1228-89(1994)e1
- 标准号
- ASTM F1228-89(1994)e1
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F1228-89(1994)e1
- 引用标准
- ASTM D1129 ASTM D1193
- 适用范围
- 1.1 本测试方法涵盖半导体工业中使用的由硅和其他材料组成的晶圆。
1.2 该测试方法用于确定沉积在所有暴露的晶片表面上的有机（可氧化）碳的质量。它不用于确定晶圆材料的总碳含量。
1.3 本测试方法仅限于 0.1 至 50 µg/样品范围内的碳测定。检测限定义为 2 3 个标准偏差 (2s)。
1.4 在晶圆的储存和/或处理过程中，挥发物可能会损失。该测试方法不用于量化挥发性有机化合物。
1.5 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。