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图5-2 孔洞、颗粒的像散判断图5-3 边界的像散判断消像散、对焦是扫描电镜操作中最基本的要求，在进行图像观察时要时刻保持合焦和无像散的状态。 第二节 扫描电镜分辨率分辨率是扫描电镜最基本的性能判断指标，首先我们要弄清扫描电镜分辨率的一些细节问题。通常有关分辨率的问题，都会遵循瑞利判据。即一个光点按照衍射理论会是一个衍射斑，两个光点逐步靠近时，对应的衍射斑也从分离趋于重合。...
mA静态电流驱动下，慢轴和快轴分别能达到的最大转角为±4.5°及±5°，慢轴及快轴的谐振频率分别为348 Hz及660 Hz，并得到在此谐振频率下的李萨如图形.将器件用于激光成像系统之中，使得散斑对比度下降到4.2%，激光成像质量得到很大提升.关键词：微机电系统 激光散斑 有限元仿真 光学扫描 利萨如图形 中图分类号：TN303 文献标识码：A ...
，调制芯片形成人们所观察到的图案.不同时刻散射片不同位置所形成的散斑图相互独立，最后在屏幕上相互叠加，根据Goodman提出的散斑消除原理[14-15]，这些大量独立散斑图在一帧图像形成时间内相互叠加，从而实现消除激光散斑.图 12 消除散斑原理Fig.12 Speckle reduction principle图 13 散斑对比Fig.13 Speckle comparison实验中，利用CCD相机对散斑对比度进行了测量...
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