T/CCGA 30001-2019
超纯氨

Ultra pure ammonia

标准号

T/CCGA 30001-2019

发布

2019年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/CCGA 30001-2019

 

 

适用范围

本标准规定了超纯氨产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的超纯氨产品。该产品是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，是半导体、光电子领域、发光二极管（LED）行业的重要原材料。

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