测量时传感部件位置固定,使用商品型测量悬片,针尖半径约为10nm。被测物体置于与扫描部件三维弹性位移系统连接的工作台上,弹性位移系统的三个位移方向分别由三个压电陶瓷驱动,压电陶瓷的伸缩量由连接在调节回路中的电容位移传感器调控。由于使用了弹性位移系统,使得三个移动轴的移动基本上相互独立并能得到接近正交的移动。...
因此,扫描探针显微镜对样品表面的粗糙度有较高的要求;由于系统是通过检测探针对样品进行扫描时的运动轨迹来推知其表面形貌,因此,探针的几何宽度、曲率半径及各向异性都会引起成像的失真(采用探针重建可以部分克服)...
因此,扫描探针显微镜对样品表面的粗糙度有较高的要求;由于系统是通过检测探针对样品进行扫描时的运动轨迹来推知其表面形貌,因此,探针的几何宽度、曲率半径及各向异性都会引起成像的失真(采用探针重建可以部分克服)...
因此,扫描探针显微镜对样品表面的粗糙度有较高的要求;由于系统是通过检测探针对样品进行扫描时的运动轨迹来推知其表面形貌,因此,探针的几何宽度、曲率半径及各向异性都会引起成像的失真(采用探针重建可以部分克服)...
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