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磷化铟晶片常用于制造高频、高速、大功率微波器件和电路以及卫星和外层空间用的太阳能电池等。在当前迅速发展的光纤通信领域,它是首选的衬底材料。另外 InP 基器件在 IC 和开关运用方面也具有优势。这种新型半绝缘磷化铟晶片的研制成功,将在国防和高速通信领域发挥重要作用。...
绝大多数半导体器件是在单晶片或以单晶片为衬底的外延片上作出的。成批量的半导体单晶都是用熔体生长法制成的。直拉法应用最广,80%的硅单晶、大部分锗单晶和锑化铟单晶是用此法生产的,其中硅单晶的最大直径已达300毫米。在熔体中通入磁场的直拉法称为磁控拉晶法,用此法已生产出高均匀性硅单晶。在坩埚熔体表面加入液体覆盖剂称液封直拉法,用此法拉制砷化镓、磷化镓、磷化铟等分解压较大的单晶。...
绝大多数半导体器件是在单晶片或以单晶片为衬底的外延片上作出的。成批量的半导体单晶都是用熔体生长法制成的。直拉法应用最广,80%的硅单晶、大部分锗单晶和锑化铟单晶是用此法生产的,其中硅单晶的最大直径已达300 毫米。在熔体中通入磁场的直拉法称为磁控拉晶法,用此法已生产出高均匀性硅单晶。在坩埚熔体表面加入液体覆盖剂称液封直拉法,用此法拉制砷化镓、磷化镓、磷化铟等分解压较大的单晶。...
国家稀散金属工程中心 开展磷化铟衬底材料的制备与装备 研究,突破了高化学配比的磷化铟多晶材料合成、大尺寸高质量磷化铟单晶研制、高取向晶向精度 的磷化铟晶片加工、高平整度高洁净度磷化铟晶片加工等技术,具备了较完整的产业链和批量生产 各种规格型号磷化铟衬底材料的条件。...
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