GB/T 6616-2023
半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法
Non-contact eddy current method for testing semiconductor wafer resistivity and semiconductor film sheet resistance
GBT6616-2023, GB6616-2023
- 标准号
- GB/T 6616-2023
- 别名
- GBT6616-2023, GB6616-2023
- 发布
- 2023年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 6616-2023
- 被代替标准
- GB/T 6616-2009
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