ASTM F1241-95(2000)
ASTM F1241-95(2000)
- 标准号
- ASTM F1241-95(2000)
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F1241-95(2000)
- 适用范围
- 1.1 本术语涵盖与半导体级硅晶体和晶圆相关的术语和定义。
1.2 本术语涵盖描述 SEMI 规范 M1 和 SEMI 格式 M18 中指定的硅晶圆属性的术语。这些属性包括抛光和外延晶圆的电气、结构、化学和机械特性以及表面缺陷和污染。
1.3 本术语适用于硅材料的研究、开发、过程控制、采购和检验。
1.4 本标准中包含的术语和定义最初摘自与硅技术相关的其他 ASTM 标准。这些术语的原始来源标准通过紧随定义之后的名称来标识。所有此类标准均可在本卷《ASTM 标准年鉴》中找到。最近，新的或修订的术语和定义已直接投票纳入本标准；这些术语的定义后没有指定名称。
1.5 几乎所有列出的术语都是名词；在其他情况下，词性紧接在术语之后明确给出。