T/CATSI 09010—2021
光学真空腔体洁净度检测规范
说明：
- 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
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- 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。
- 适用范围
- 第 3章 术语、定义和缩略语 为便于对标准的理解与执行，本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语。 第4章 真空腔体污染物 本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型，包括油脂、液滴、表面氧化物等。 第5章 洁净度标准 本章给出洁净级标准、超净级标准和危险级3种洁净度等级标准的要求。 第6章 检测准备 本章主要针对检测件、检测位置以及检测方法、检测仪器设备等主要环节提出相关要求。 第7章 检测与结果 本章主要给出检测原理、检测步骤、检测结果判定等要求。 附录A 附录给出了洁净度检测设备基本情况、设备参数及检测条件、腔A RGA质谱结果示例、腔B RGA质谱结果示例、腔B法拉第/倍增结果示例。