GB/T 30652-2023
硅外延用三氯氢硅

Trichlorosilane for silicon epitaxy

GBT30652-2023, GB30652-2023

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标准号: GB/T 30652-2023
别名: GBT30652-2023, GB30652-2023
发布: 2023年
发布单位: 国家质检总局
当前最新: GB/T 30652-2023

被代替标准: GB/T 30652-2014

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