T/CEMIA 023-2021
半导体单晶硅生长用石英坩埚

Quartz crucible forsemiconductor monosilicon growth


标准号
T/CEMIA 023-2021
发布
2021年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CEMIA 023-2021
 
 
适用范围
本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义, 并规定了尺寸偏差、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。  本文件适用于以高纯石英砂(成份:二氧化硅)为原料,采用电弧熔融法生产,用于半导体单晶硅生长用石英坩埚。

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