就定量来说,SEM点分析比线分析和面分析更准确,扫描的方式不同,线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况(线分析是沿着某个界面的元素分布起伏,而面分析是看整个视场的元素分布情况),点分析可以基本定量分析元素。SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称,两者组合使用,功能非常强大,既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析,在各类分析工作中被广泛运用。...
能量色散X射线谱仪(EDS) EDS是能量色散X射线谱仪,简称能谱仪,常用作扫描电镜或透射电镜的微区成分分析。利用发射出来的特征X射线能量不同而进行的元素分析,称为能量色散法。X射线能谱仪的主要构成单元是Si(Li)半导体检测器,即锂飘移硅半导体检测器和多道脉冲分析器。目前还不能用于分析超轻元素(O、N、C等)。...
EPMA的工作原理是利用聚焦电子束(典型能量= 5-30keV)轰击微体积样品并收集由各种元素物质发射的X射线。由于这些X射线的波长是发射物质的特征,因此可以通过记录WDS波谱(波长色散光谱)轻松识别样品组分。WDS波谱仪基于布拉格定律进行操作,并使用各种可移动的成型单晶作为单色仪。EPMA提供了在材料表面对微米级体积进行非破坏性元素分析的完全定性和定量方法,具有ppm级灵敏度。...
赛默飞世尔MagnaRay光谱仪问世—--世界上第一台整体波长色散/能量色散系统 2008年8月4日,Thermo Fisher Scientific Inc.宣布第一台智能波长色散X射线光谱仪(WDS)-- Thermo Scientific MagnaRay WDS光谱仪开始上市。该仪器将能量色散光谱(EDS)的结果与使用嵌入式专家系统的WDS操作自动地组合在一起。...
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