IEC 62047-26-2016
半导体器件 - 微机电器件 - 第26部分:微沟槽和针结构的描述和测量方法

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures

 

 

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标准号
IEC 62047-26-2016
发布
2016年
发布单位
国际电工委员会
 
 

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