T/ICMTIA ESG0013-2022
集成电路用混合气体 3.5%氩/10ppm氙/氖

Mixed gas for integrated circuits 3.5% argon/10ppm xenon/neon

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标准号

T/ICMTIA ESG0013-2022

发布

2022年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/ICMTIA ESG0013-2022

 

 

适用范围

本文件规定了集成电路用3.5%氩/10ppm氙/氖混合气的技术要求、试验方法以及标志、包装、运输及储存的要求。 本文件适用于集成电路用3.5%氩/10ppm氙/氖混合气, 其它组分比例的氩氙氖混合气可以参考执行。

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