GSO IEC 62374-1:2013
半导体仪器 第 (1) 部分：金属夹层的瞬态介电击穿 (TDDB) 测试

Semiconductor devices - Part 1: Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for inter-metal layers

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标准号

GSO IEC 62374-1:2013

发布

2013年

发布单位

GSO

当前最新

GSO IEC 62374-1:2013

 

 

适用范围

IEC 62374-1:2010 describes a test method, test structure and lifetime estimation method of the time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for inter-metal layers applied in semiconductor devices.

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