同时具有尺寸小，灵敏度高（压阻应变计的灵敏系数是金属应变计的25～50倍），信噪比大，线性和稳定性好的特点。如果进行适当的温度补偿，工作温度为一20～120℃。 电容式加速度传感器 MEMS电容式加速度计的敏感元件用静电键合工艺构成平板电容器，具有频响范围宽，低频直至零频，性能稳定，结构坚固，使用方便的特点。内置电子电路，提供高电平、低阻抗输出。...
应用：常用的电阻应变式传感器有应变式测力传感器、应变式压力传感器、应变式扭矩传感器（见转矩传感器）、应变式位移传感器（见位移传感器）、应变式加速度传感器（见加速度计）和测温应变计等。 横向效应是跟应变片有关的一种现象：应变片的核心部分是敏感栅。将电阻丝绕成敏感栅后，虽然长度不变，但其直线段和圆弧段的应变状态不同，其灵敏系数K较整长电阻丝的灵敏系数K0小，该现象称为横向效应。 ...
半导体应变计是利用半导体材料的压阻效应制成的。邦纳Q50系列测量传感器表示N型硅的电阻值随压强的变化。由图2可见，在压强约为20吉帕以下时,N型硅的电阻值随压强的变化呈线性。利用这一线性段可制成半导体应变计。半导体应变计又可分为体型和扩散型两种。扩散型半导体应变计利用半导体平面工艺制成，性能优良，具有很大的发展前途。力敏元件的基本参数为灵敏度，即电阻值的相对变化量与应变量的比值。...
应变式压力传感器是压力传感器中应用比较多的一种传感器，它一般用于测量较大的压力，广泛应用于测量管道内部压力、内燃机燃气的压力、压差和喷射压力、发动机和导弹试验中的脉动压力，以及各种领域中的流体压力等。 特点： 应变计中应用最多的是粘贴式应变计(即应变片)。它的主要缺点是输出信号小、线性范围窄,而且动态响应较差(见电阻应变计、半导体应变计)。...
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