T/CNIA 0116-2021
多晶硅生产尾气净化用活性炭中杂质含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

Determination of impurity content in activated carbon for purification of tail gas from polysilicon production by inductively coupled plasma atomic emission spectrometry

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标准号: T/CNIA 0116-2021
发布: 2021年
发布单位: 中国团体标准
当前最新: T/CNIA 0116-2021

适用范围: 本文件规定了电感耦合等离子体原子发射光谱法测定多晶硅生产尾气净化用活性炭中硼、磷、铝、铬、铁、镍、铜、锌含量的方法。本文件适用于多晶硅生产尾气净化用活性炭中硼、磷、铝、铬、铁、镍、铜、锌含量的测定。

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