T/BEA 40001-2022
感应耦合等离子体发生器校准规范

Calibration specification for inductively coupled plasma generator


 

 

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标准号
T/BEA 40001-2022
发布
2022年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/BEA 40001-2022
 
 
1  范围 1.1  主题内容 本规范规定了感应耦合等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。 1.2  适用范围 本标准适用于真空环境下使用的新制造(或新购置)和修理后的感应耦合等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。 2  规范性...

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